半导体等电子工业监测站解决方案

背景概述

半导体/电子工业是我国重点扶持和发展的领域，在生态环境保护方面，半导体/电子工业制造厂也在加大投入污染治理和污染物在线监控，以降低对生态环境和居民的影响。然而，半导体/电子工业制造厂的废气／烟气排放烟囱很多，有酸性排口，碱性排口（NH3）和VOCs排口，每个Fab厂都有十到几十个烟囱排口，而且酸性气体多（HCl、HF、Cl2、H2SO4等）和VOCs种类多（非甲烷总烃、苯、甲苯、二甲苯、甲醛、三氯乙烯等），要对每个烟囱排口进行在线监测，就需要综合考虑国际上先进的监测技术和建设经济效益，选择最优的解决方案。

行业类型：半导体等电子工业

主要监测因子：NH3、HCl、HF、Cl2、H2SO4、非甲烷总烃、苯、甲苯、二甲苯、甲醛、三氯乙烯等。

解决方案概述：博测环境提供的整体解决方案是采用非接触式差分吸收光谱法（DOAS），使用一条光路贯穿整个管道。光束通过光纤传输到分析仪，而这个分析仪又同时监测几个路径。满足同时监测全部排口，多种因子，包括了酸性气体、碱性气体和VOCs气体。该方案采用了先进的光谱法（UV/IR）监测酸碱气体和气相色谱法（GC-FID）监测VOCs气体。如下图：

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